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(
2012年:第32063位 0件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第6233位 2件
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2012年:第25637位 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5325203 | ガスクラスターイオンビームを用いて系統的な不均一性を補正する装置及び方法 | 2013年10月23日 | |
| 特許 5296341 | ガスクラスターイオンビーム加工装置における粒子汚染を低減するための装置および方法 | 2013年 9月25日 |
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5325203 5296341
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