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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第8370位 2件 (2021年:第12881位 1件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第3719位 4件 (2021年:第5804位 2件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7162940 | プラズマOES診断用ウィンドウおよびこれを利用したプラズマ装置 | 2022年10月31日 | |
特許 7129044 | 旋回式プラズマ溶融装置 | 2022年 9月 1日 | |
特許 7106791 | 原子層の研磨方法及びそのための研磨装置 | 2022年 7月27日 | |
特許 7081740 | 環状沿面放電プラズマ装置を利用した点状エッチングモジュール及び点状エッチングモジュールのエッチングプロファイルを制御する方法 | 2022年 6月 7日 |
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7162940 7129044 7106791 7081740
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