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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第5574位 3件 (2020年: 0件)
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(ランキング更新日:2025年1月17日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2021-166282 | チャンバ分離型エピ成長装置 | 2021年10月14日 | |
特開 2021-147702 | 単結晶金属酸化物半導体エピ成長装置 | 2021年 9月27日 | |
特開 2021-143417 | 可変温度調節装置を備えた金属−酸化物電子ビーム蒸発源 | 2021年 9月24日 |
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2021-166282 2021-147702 2021-143417
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