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エスピーティーエス テクノロジーズ リミティド
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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第2678位 7件
（
2020年：第2945位 6件）
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第2213位 7件
（2020年：第2753位 5件）
（ランキング更新日：2026年10月30日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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エスピーティーエス テクノロジーズ リミティドの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6948140 | ＤＣマグネトロンスパッタリング | 2021年10月13日 | |
| 特許 6898149 | ワークピースをプラズマエッチングする方法 | 2021年 7月 7日 | |
| 特許 6869025 | 接着向上法 | 2021年 5月12日 | |
| 特許 6850703 | ウェハ基板の変形を監視及び制御する方法及びシステム | 2021年 3月31日 | |
| 特許 6837302 | 構造物を気相化学的にドライエッチングするための方法及び装置 | 2021年 3月 3日 | |
| 特許 6837395 | 状態検出方法 | 2021年 3月 3日 | |
| 特許 6807777 | プラズマ処理装置 | 2021年 1月 6日 |
7 件中 1-7 件を表示
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6948140 6898149 6869025 6850703 6837302 6837395 6807777
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