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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5420835 | プラズマ発生装置およびこれを用いた成膜方法 | 2014年 2月19日 | |
特許 5410648 | 表示パネルおよび該表示パネルに用いる発光ユニット | 2014年 2月 5日 |
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5420835 5410648
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