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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第4525位 4件
(
2012年:第7092位 2件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第3906位 4件
(
2012年:第3300位 5件)
(ランキング更新日:2025年12月26日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5271060 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2013年 8月21日 | |
| 特許 5165131 | 基板処理装置 | 2013年 3月21日 | |
| 特許 5111999 | 基板処理装置 | 2013年 1月 9日 | |
| 特許 5111998 | 基板処理装置 | 2013年 1月 9日 |
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5271060 5165131 5111999 5111998
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