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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第3759位 5件
(2016年:第12189位 1件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第4057位 3件
(2016年:第24808位 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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再表 2015-76405 | 小型回転アームを有する処理室および小型製造装置 | 2017年 3月16日 | |
特開 2017-55083 | 柱状層流生成装置ならびに柱状層流生成方法 | 2017年 3月16日 | |
特開 2017-27965 | 薬液供給機構及び小型製造装置 | 2017年 2月 2日 | |
特開 2017-27966 | 薬液温度調整機構及び小型製造装置 | 2017年 2月 2日 | |
再表 2014-87761 | 基板処理機構及びこれを用いた小型製造装置 | 2017年 1月 5日 | |
再表 2014-87762 | 昇降装置および小型製造装置 | 2017年 1月 5日 |
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2015-76405 2017-55083 2017-27965 2017-27966 2014-87761 2014-87762
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