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(
2024年:第1646位 13件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第1731位 10件
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2024年:第27650位 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7788191 | ウエハーに用いられる位置検出装置、位置検出方法及びウエハー速度計測方法 | 2025年12月18日 | |
| 特許 7773261 | ウェハ研磨システム及びウェハ搬送方法 | 2025年11月19日 | |
| 特許 7773262 | 研磨パッドのトリミング装置 | 2025年11月19日 | |
| 特許 7736360 | ウエハ研磨システム、搭載方法及びその使用方法 | 2025年 9月 9日 | |
| 特許 7728045 | ウエハー研磨システム | 2025年 8月22日 | |
| 特許 7714253 | 研磨ヘッドと搬送ステーションの作動位置を較正する方法 | 2025年 7月29日 | |
| 特許 7712007 | ウエハー研磨システム | 2025年 7月23日 | |
| 特許 7688074 | 導電性ウェーハ基板を処理する電気化学的機械研磨及び平坦化機器 | 2025年 6月 3日 | |
| 特許 7660959 | マルチウェハブラッシング装置 | 2025年 4月14日 | |
| 特許 7638389 | ウェハ位置検出装置 | 2025年 3月 3日 |
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7788191 7773261 7773262 7736360 7728045 7714253 7712007 7688074 7660959 7638389
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