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| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5307476 | 表面処理セラミックス部材およびその製造方法 | 株式会社フェローテックセラミックス | 2013年10月 2日 |
| 特許 5199599 | イットリア焼結体およびプラズマプロセス装置用部材 | 株式会社フェローテックセラミックス | 2013年 5月15日 |
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5307476 5199599
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