公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5170768 | 冷陰極電離真空計 | 大亜真空株式会社 | 2013年 3月27日 |
特許 5164952 | 冷陰極電離真空計 | 大亜真空株式会社 | 2013年 3月21日 |
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5170768 5164952
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