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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特許 5582681 | 回転可能なスパッタリングターゲットを支持する平面エンドブロック | ソレラス・アドヴァンスト・コーティングス・ビーヴイビーエー | 2014年 9月 3日 |
特許 5524185 | 高剛性を有する回転可能なスパッタリングマグネトロン | ソレラス・アドヴァンスト・コーティングス・ビーヴイビーエー | 2014年 6月18日 |
特許 5520839 | 多重溝付き真空連結具 | ソレラス・アドヴァンスト・コーティングス・ビーヴイビーエー | 2014年 6月11日 |
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5582681 5524185 5520839
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