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出願人名に「株式会社フィルテック」を含むもの

公報番号発明の名称出願人公報発行日
特開 2011-225965 基板処理装置 株式会社フィルテック 2011年11月10日
特開 2011-187545 高温加圧気密ガスによる搬送機構を備えた基板処理装置 株式会社フィルテック 2011年 9月22日
特開 2011-70085 表面加熱装置 株式会社フィルテック 2011年 4月 7日
特開 2011-49333 基板の両面加熱装置および加熱ガス吹き付け装置 株式会社フィルテック 2011年 3月10日
特開 2011-1591 ガス加熱装置 株式会社フィルテック 2011年 1月 6日
特開 2011-2347 発光ダイオードとネットワークアナライアザーを用いる絶縁基板上薄膜の電気特性測定装置と製造装置 株式会社フィルテック 2011年 1月 6日

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2011-225965 2011-187545 2011-70085 2011-49333 2011-1591 2011-2347

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