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| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特開 2013-248617 | マイクロ構造および/またはナノ構造の構造基板をコーティングするための方法 | エリッヒ・タールナー | 2013年12月12日 |
| 特開 2013-219381 | マスクに与えられている構造を基板上に転写するための装置 | エリッヒ・タールナー | 2013年10月24日 |
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2013-248617 2013-219381
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