タツモ株式会社
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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第2461位 9件
（
2012年：第1902位 12件）
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第2127位 10件
（
2012年：第2665位 7件）
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タツモ株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5354897 | ステッピングモータ制御装置 | 2013年11月27日 | |
| 特許 5339874 | ロボット装置及びその制御方法 | 2013年11月13日 | |
| 特許 5317428 | 基板処理装置及び基板製造方法 | 2013年10月16日 | |
| 特許 5313366 | 基板用塗布装置及び基板塗布方法 | 2013年10月 9日 | |
| 特許 5285881 | 塗布装置 | 2013年 9月11日 | |
| 特許 5279253 | ウェハ用真空加熱装置 | 2013年 9月 4日 | |
| 特許 5256345 | 基板用塗布装置 | 2013年 8月 7日 | |
| 特許 5216612 | 半導体ウェハ処理装置 | 2013年 6月19日 | |
| 特許 5210025 | 定量吐出ポンプ | 2013年 6月12日 | |
| 特許 5124190 | ウェハ搬送ロボット | 2013年 1月23日 |
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5354897 5339874 5317428 5313366 5285881 5279253 5256345 5216612 5210025 5124190
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