出願人名に「秀和工業株式会社」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5578519 | 研磨装置および研磨方法 | 秀和工業株式会社 | 2014年 8月27日 |
| 特許 5572039 | ウエーハの剥離方法及びその装置 | 秀和工業株式会社 | 2014年 8月13日 |
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5578519 5572039
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