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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特許 4801711 | カセットから炉へのウエーハ移送用のシステム及び方法 | エイエスエム・インターナシヨナル・エヌ・ブイ | 2011年10月26日 |
特許 4632551 | ウエハおよびリングの移送方法、熱処理設備リングの組み合せ、及びウエハとリングのセット | エイエスエム・インターナシヨナル・エヌ・ブイ | 2011年 2月16日 |
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4801711 4632551
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4月9日(水) -
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4月11日(金) -
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