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出願人名に「インテバック・インコーポレイテッド」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5322590 | 基板搬送システム、基板処理システム内のエレベータサブシステム、及び基板処理システム | インテバック・インコーポレイテッド | 2013年10月23日 |
1 件中 1-1 件を表示
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