公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特開 2012-164948 | N2ガスパージ装置におけるノズルユニット | 近藤工業株式会社 他 | 2012年 8月30日 |
特開 2012-33702 | N2ガスパージ用ブリージングフィルターユニットおよび該フィルターユニットを搭載した半導体ウエハ収納容器をN2ガスパージするパージ装置 | 近藤工業株式会社 他 | 2012年 2月16日 |
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2012-164948 2012-33702
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3月26日(水) - 東京 港区
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3月26日(水) - 東京 港区
4月1日(火) - 山口 山口市
4月1日(火) -
4月2日(水) -
4月2日(水) -
4月4日(金) -
4月1日(火) - 山口 山口市
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