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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第526位 63件
(2020年:第441位 77件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第449位 55件
(2020年:第463位 52件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2021-57503 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2021年 4月 8日 | |
特開 2021-57581 | 基板処理装置 | 2021年 4月 8日 | |
特開 2021-49651 | 溶液の塗布装置および錠剤印刷装置 | 2021年 4月 1日 | |
特開 2021-52100 | 基板処理装置 | 2021年 4月 1日 | |
特開 2021-47240 | 成膜装置、およびマスクブランクスの製造方法 | 2021年 3月25日 | |
特開 2021-44536 | ミスト回収装置および基板処理装置 | 2021年 3月18日 | |
特開 2021-44539 | プラズマ処理装置 | 2021年 3月18日 | |
特開 2021-44557 | 圧着装置 | 2021年 3月18日 | |
特開 2021-38415 | 成膜装置、成膜ワーク製造方法、膜評価方法 | 2021年 3月11日 | |
特開 2021-40127 | 電子部品の実装装置 | 2021年 3月11日 | |
特開 2021-34645 | 移送装置および実装装置 | 2021年 3月 1日 | |
特開 2021-24745 | 剥離装置 | 2021年 2月22日 | |
特開 2021-21950 | 反射型マスクの洗浄装置および反射型マスクの洗浄方法 | 2021年 2月18日 | |
特開 2021-22729 | 基板搬送装置及び基板処理装置 | 2021年 2月18日 | |
特開 2021-18116 | 圧痕検査装置 | 2021年 2月15日 |
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2021-57503 2021-57581 2021-49651 2021-52100 2021-47240 2021-44536 2021-44539 2021-44557 2021-38415 2021-40127 2021-34645 2021-24745 2021-21950 2021-22729 2021-18116
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