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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第12189位 1件
(2015年:第11806位 1件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第5777位 2件
(2015年:第8612位 1件)
(ランキング更新日:2025年6月23日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5998176 | 蒸着装置から金属を回収する方法、及び、金属堆積チャンバを動作させる方法 | 2016年 9月28日 | |
特許 5935174 | 選択スプレー式エッチングを使用して堆積チャンバ部分をクリーニングするための方法及び装置 | 2016年 6月15日 |
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5998176 5935174
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