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| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5390295 | 超低静電容量配線のためのエアギャップを備える半導体装置の製造 | ジョージア・テック・リサーチ・コーポレーション | 2014年 1月15日 |
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