| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特開 2013-180337 | スパッタ付着防止液塗布装置 | 株式会社チップマン | 2013年 9月12日 |
| 特開 2013-94818 | ノズルクリーナ | 株式会社チップマン | 2013年 5月20日 |
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2013-180337 2013-94818
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