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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
再表 2012-2383 | ターゲット取付機構 | アルバックテクノ株式会社 | 2013年 8月29日 |
特開 2013-36061 | ハースライナ、電子ビーム加熱源及び電子ビーム蒸着装置 | アルバックテクノ株式会社 | 2013年 2月21日 |
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2012-2383 2013-36061
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