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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7159297 | 基板安置手段および基板処理装置 | 2022年10月24日 | |
特許 7145928 | 基板処理装置のガス噴射装置、基板処理装置、および基板処理方法 | 2022年10月 3日 | |
特許 7107917 | 基板処理装置用ガス噴射装置および基板処理装置 | 2022年 7月27日 | |
特許 7046019 | 基板処理装置用ガス噴射装置および基板処理装置 | 2022年 4月 1日 | |
特許 7008629 | 基板処理装置 | 2022年 1月25日 |
5 件中 1-5 件を表示
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7159297 7145928 7107917 7046019 7008629
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11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
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11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
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