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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第2007位 11件
(2021年:第3677位 5件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第3150位 5件
(2021年:第9350位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7159297 | 基板安置手段および基板処理装置 | 2022年10月24日 | |
特許 7145928 | 基板処理装置のガス噴射装置、基板処理装置、および基板処理方法 | 2022年10月 3日 | |
特許 7107917 | 基板処理装置用ガス噴射装置および基板処理装置 | 2022年 7月27日 | |
特許 7046019 | 基板処理装置用ガス噴射装置および基板処理装置 | 2022年 4月 1日 | |
特許 7008629 | 基板処理装置 | 2022年 1月25日 |
5 件中 1-5 件を表示
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7159297 7145928 7107917 7046019 7008629
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