公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 4644236 | 低電流高密度によるプラズマ窒化方法及び低電流高密度によるプラズマ窒化装置 | 韓国生産技術研究院 | 2011年 3月 2日 |
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