| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5063457 | スパッタ装置 | 株式会社倉元製作所 | 2012年10月31日 |
| 特許 4866924 | シリコン単結晶引き上げ用の石英ガラスルツボおよびシリコン単結晶の製造方法 | 株式会社倉元製作所 | 2012年 2月 1日 |
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5063457 4866924
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