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- 出願人詳細情報 -
出願人名に「株式会社三友製作所」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5295055 | 吸引型プラズマエッチング装置およびプラズマエッチング方法 | 株式会社三友製作所 | 2013年 9月18日 |
| 特許 5294816 | 顕微鏡付吸引型局所マイクロプラズマエッチング装置及び局所マイクロプラズマエッチング方法 | 株式会社三友製作所 | 2013年 9月18日 |
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5295055 5294816
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