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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特許 5277218 | 薄膜塗工装置に設ける乾燥装置 | クリーン・テクノロジー株式会社 | 2013年 8月28日 |
特許 5236357 | プラズマ処理装置 | クリーン・テクノロジー株式会社 | 2013年 7月17日 |
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5277218 5236357
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