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出願人名に「プロマティック株式会社」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特開 2011-149043 | スパッタ成膜装置およびこれを用いたスパッタ膜の製造方法 | プロマティック株式会社 | 2011年 8月 4日 |
| 特開 2011-63823 | スパッタ源およびスパッタ装置ならびにこれを用いた多層膜の製造方法 | プロマティック株式会社 | 2011年 3月31日 |
| 特開 2011-52272 | スパッタカソード | プロマティック株式会社 | 2011年 3月17日 |
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2011-149043 2011-63823 2011-52272
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