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| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5462158 | パターン化構造の特性をモニタリングする際に使用される方法及びシステム | ノヴァ・メジャーリング・インストゥルメンツ・リミテッド | 2014年 4月 2日 |
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