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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7372246 | ピストン-シリンダユニット | 2023年10月31日 | |
特許 7368236 | 位置センサを備えた真空弁 | 2023年10月24日 | |
特許 7368460 | ピンリフトデバイス | 2023年10月24日 | |
特許 7353984 | 圧力センサを備えた真空弁 | 2023年10月 2日 | |
特許 7350658 | 慣性センサを備えた真空弁 | 2023年 9月26日 | |
特許 7339162 | 音響センサを備えた真空弁 | 2023年 9月 5日 | |
特許 7309621 | 温度センサを備えた真空弁 | 2023年 7月18日 | |
特許 7239476 | ニューマチック式のロッド状部材移動装置およびニューマチック式の行程シリンダ | 2023年 3月14日 | |
特許 7222631 | 真空調整装置 | 2023年 2月15日 | |
特許 7220663 | バルブ | 2023年 2月10日 | |
特許 7213258 | 安全装置、少なくとも1つの安全装置を備えたウェハ輸送容器、安全装置を備えた安全システムおよび方法 | 2023年 1月26日 |
11 件中 1-11 件を表示
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7372246 7368236 7368460 7353984 7350658 7339162 7309621 7239476 7222631 7220663 7213258
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