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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特表 2012-525503 | 円錐型蒸着チャンバにおける密度最適化のためのHULA基板ホルダを特徴とする、リフトオフ蒸着システム | フェローテック(ユーエスエー)コーポレイション | 2012年10月22日 |
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