| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5367530 | 根尖位置検出装置 | 株式会社アドテックス | 2013年12月11日 |
| 特許 5294645 | 基板検査装置 | 株式会社アドテックス | 2013年 9月18日 |
| 特許 5194026 | プラズマ処理装置 | 株式会社アドテック プラズマ テクノロジー | 2013年 5月 8日 |
| 特許 5147265 | 基板検査装置 | 株式会社アドテックス | 2013年 2月20日 |
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5367530 5294645 5194026 5147265
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