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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特開 2011-226377 | 分子ポンプ装置の制御装置 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2011年11月10日 |
特開 2011-52628 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2011年 3月17日 |
特開 2011-43131 | 分子ポンプ装置 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2011年 3月 3日 |
特開 2011-38534 | 分子ポンプの軸受放熱構造 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2011年 2月24日 |
特開 2011-27031 | 分子ポンプ装置 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2011年 2月10日 |
特開 2011-7049 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2011年 1月13日 |
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2011-226377 2011-52628 2011-43131 2011-38534 2011-27031 2011-7049
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