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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5063239 | レーザ加工用集塵装置 | 武井電機工業株式会社 | 2012年10月31日 |
特許 4887086 | 薄膜除去方法及び薄膜除去装置 | 武井電機工業株式会社 | 2012年 2月29日 |
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5063239 4887086
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