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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第12881位 1件
(2020年:第33722位 0件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第9350位 1件
(2020年:第24204位 0件)
(ランキング更新日:2025年3月28日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2021-523549 | 平面型プラズマ診断装置、平面型プラズマ診断装置が埋め立てられたウエハー型プラズマ診断装置、平面型プラズマ診断装置が埋め立てられた静電チャック この研究は科学技術情報通信部から研究資金の支援を受ける韓国研究財団(NRF)の材料革新プログラム(1711120490/2020M3H4A3106004、寄与度 51%)、韓国の国家科学技術研究会(NST)のR&Dコンバージョンスプログラム(1711062007/CAP−17−02−NFRI−01)、そして、韓国標準科学研究院(KRISS)によって支援を受けた。 | 2021年 9月 2日 |
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4月1日(火) - 山口 山口市
4月1日(火) -
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