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スピードファム株式会社
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■ 2011年 出願公開件数ランキング 件
（
2010年： 件）
■ 2011年 特許取得件数ランキング 件
（2010年： 件）
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スピードファム株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 4808111 | ワーク用チャック装置 | 2011年11月 2日 | |
| 特許 4805664 | 半導体ウエハーの表裏エッジ同時研磨装置及び表裏エッジ同時研磨方法 | 2011年11月 2日 | |
| 特許 4799313 | 両面研磨装置および両面研磨装置におけるワークとキャリアとの重なり検知方法 | 2011年10月26日 | |
| 特許 4778130 | エッジポリッシング装置及びエッジポリッシング方法 | 2011年 9月21日 | |
| 特許 4711554 | 加圧プレート用反転機構を備えた平面研磨装置 | 2011年 6月29日 | |
| 特許 4698178 | 被研磨物保持用キャリア | 2011年 6月 8日 | |
| 特許 4693468 | 研磨パッド貼着用加圧ローラを備えた両面研磨装置 | 2011年 6月 1日 | |
| 特許 4630178 | ワーク用チャック装置 | 2011年 2月 9日 | |
| 特許 4614851 | 平面研磨装置 | 2011年 1月19日 |
9 件中 1-9 件を表示
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4808111 4805664 4799313 4778130 4711554 4698178 4693468 4630178 4614851
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