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スピードファム株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第12004位 1件 下降2010年:第5677位 3件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第2225位 9件 上昇2010年:第2584位 6件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4808111 ワーク用チャック装置 2011年11月 2日
特許 4805664 半導体ウエハーの表裏エッジ同時研磨装置及び表裏エッジ同時研磨方法 2011年11月 2日
特許 4799313 両面研磨装置および両面研磨装置におけるワークとキャリアとの重なり検知方法 2011年10月26日
特許 4778130 エッジポリッシング装置及びエッジポリッシング方法 2011年 9月21日
特許 4711554 加圧プレート用反転機構を備えた平面研磨装置 2011年 6月29日
特許 4698178 被研磨物保持用キャリア 2011年 6月 8日
特許 4693468 研磨パッド貼着用加圧ローラを備えた両面研磨装置 2011年 6月 1日
特許 4630178 ワーク用チャック装置 2011年 2月 9日
特許 4614851 平面研磨装置 2011年 1月19日

9 件中 1-9 件を表示

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4808111 4805664 4799313 4778130 4711554 4698178 4693468 4630178 4614851

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