公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5010415 | アンテナ励起型ガス放電灯 | 株式会社プラズマアプリケーションズ 他 | 2012年 8月29日 |
特許 4987642 | 差込部付き同軸導波管 | 株式会社プラズマアプリケーションズ 他 | 2012年 7月25日 |
特許 4920202 | 半導体加工キャリア部材の表面処理方法及びその物品 | 株式会社プラズマイオンアシスト 他 | 2012年 4月18日 |
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5010415 4987642 4920202
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