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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1456位 19件 (2012年:第1675位 14件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第874位 34件 (2012年:第1478位 17件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5378686 | 基板処理装置 | 2013年12月25日 | |
特許 5371413 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年12月18日 | |
特許 5344734 | 基板処理装置 | 2013年11月20日 | |
特許 5323374 | 現像装置および現像方法 | 2013年10月23日 | |
特許 5317504 | 現像装置および現像方法 | 2013年10月16日 | |
特許 5317505 | 基板処理装置 | 2013年10月16日 | |
特許 5318005 | 基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法 | 2013年10月16日 | |
特許 5318403 | 基板処理装置 | 2013年10月16日 | |
特許 5308045 | 現像方法 | 2013年10月 9日 | |
特許 5308054 | 基板処理装置 | 2013年10月 9日 | |
特許 5284808 | ストッカー装置及び基板処理装置 | 2013年 9月11日 | |
特許 5280141 | 基板処理装置 | 2013年 9月 4日 | |
特許 5275058 | 基板処理装置 | 2013年 8月28日 | |
特許 5270289 | 基板処理装置 | 2013年 8月21日 | |
特許 5269956 | 基板処理装置 | 2013年 8月21日 |
34 件中 1-15 件を表示
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5378686 5371413 5344734 5323374 5317504 5317505 5318005 5318403 5308045 5308054 5284808 5280141 5275058 5270289 5269956
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10月21日(月) -
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