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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第12004位 1件
(
2010年:第35941位 0件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第9278位 1件
(
2010年:第22882位 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 4814429 | 集積回路製造ツール基板上で温度を検出する装置 | 2011年11月16日 |
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