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アイクストロン、アーゲー

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  2011年 特許取得件数ランキング    第1707位 13件 上昇2010年:第5419位 2件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4809562 化学気相成膜反応室 2011年11月 9日
特許 4789384 凝縮被膜生成法 2011年10月12日
特許 4776168 半導体層の堆積プロセス 2011年 9月21日
特許 4778655 1つまたは多くの被膜を基板に沈積する方法および装置 2011年 9月21日
特許 4759572 RF−加熱されるプロセス室を備えたCVD反応装置 2011年 8月31日
特許 4731076 半導体膜をCVD法によって堆積する堆積方法および堆積装置 2011年 7月20日
特許 4719679 膜製造方法及び膜製造装置 2011年 7月 6日
特許 4700602 一方を前処理した2種のプロセスガスを用いた半導体蒸着プロセス及び装置 2011年 6月15日
特許 4673881 結晶層堆積装置および結晶層堆積方法 2011年 4月20日
特許 4664598 高さ調節可能な処理チャンバ内における基板上への薄膜層堆積プロセス及び装置 2011年 4月 6日
特許 4637450 CVDコーティング装置 2011年 2月23日
特許 4637844 CVDコーティング装置 2011年 2月23日
特許 4606675 化学薬品蒸気溶着室およびそれを備えたエピタクシー反応装置 2011年 1月 5日

13 件中 1-13 件を表示

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4809562 4789384 4776168 4778655 4759572 4731076 4719679 4700602 4673881 4664598 4637450 4637844 4606675

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