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ラムリサーチコーポレーション

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ラムリサーチコーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5290579	プラズマ生成方法、及びプラズマ生成に用いる高周波生成器の製造方法	2013年 9月18日
特許 5290745	プラズマ処理システムにおけるクリーニングまたはコンディショニングプロセスのエンドポイント決定方法及び装置	2013年 9月18日
特許 5290083	真空プラズマプロセッサ	2013年 9月18日
特許 5286367	基板から汚染物質を除去するための方法及びシステム	2013年 9月11日
特許 5289762	多重ＲＦ周波数に応答する電極を有するプラズマプロセッサ	2013年 9月11日
特許 5268215	銅結線のシード層の処理方法および処理装置	2013年 8月21日
特許 5265770	プラズマ処理チャンバ内のデチャックを検出するための容量結合静電（ＣＣＥ）プローブ構成、それに関連する方法、及び、その方法を実行するコンピュータ可読コードを格納するプログラム格納媒体	2013年 8月14日
特許 5265700	プラズマ処理装置用の複合シャワーヘッド電極組立体	2013年 8月14日
特許 5265539	半導体ウエハープラズマ処理装置	2013年 8月14日
特許 5265669	早期乾燥を阻止する方法	2013年 8月14日
特許 5265871	多重周波数プラズマ・エッチング反応装置	2013年 8月14日
特許 5265924	ウェハの移動を制御するマクロ	2013年 8月14日
特許 5265664	原子層蒸着のための装置および方法	2013年 8月14日
特許 5254614	基板処理システムにおけるスマートコンポーネント管理技術	2013年 8月 7日
特許 5255057	高度に収束された光を収集する配置の方法および装置	2013年 8月 7日

112 件中 31-45 件を表示

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5290579 5290745 5290083 5286367 5289762 5268215 5265770 5265700 5265539 5265669 5265871 5265924 5265664 5254614 5255057

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