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ラムリサーチコーポレーション

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ラムリサーチコーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5377314	プロセスチャンバのためのガス注入器および光アクセスのための方法	2013年12月25日
特許 5377513	ショートエッチングレシピのためのガス輸送遅延の解消のための装置、方法、及びプログラム格納デバイス	2013年12月25日
特許 5371871	低汚染プラズマ反応室の構成部品の製造方法	2013年12月18日
特許 5363992	プラズマチャンバ材料としてのイットリウム酸化物の寿命の延長	2013年12月11日
特許 5364054	調整可能なマルチゾーンガス噴射システム	2013年12月11日
特許 5361892	部品の誘電特性を測定するための装置及びシステム	2013年12月 4日
特許 5358441	自動動的ベースライン生成および調整	2013年12月 4日
特許 5361947	適応熱導体を有するプラズマ処理チャンバ部品を備えるアセンブリ、及び、プラズマエッチング方法	2013年12月 4日
特許 5358565	処理チャンバにおいて処理実行領域と隣接する処理除外領域を保護するための方法および装置	2013年12月 4日
特許 5346018	プラズマ処理装置用のシャワーヘッド電極アセンブリ	2013年11月20日
特許 5341875	レシピおよび部品の制御モジュールならびにその方法	2013年11月13日
特許 5341073	熱伝導性ガスケットおよびＯリングを利用する電極アセンブリおよびプラズマ処理室	2013年11月13日
特許 5336199	複数の容量および誘導プラズマ源を備えたプラズマ処理リアクタ	2013年11月 6日
特許 5334914	プラズマ処理装置	2013年11月 6日
特許 5336513	動的アラインメント・ビーム校正のためのシステムおよび方法	2013年11月 6日

112 件中 1-15 件を表示

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5377314 5377513 5371871 5363992 5364054 5361892 5358441 5361947 5358565 5346018 5341875 5341073 5336199 5334914 5336513

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