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  2013年 特許取得件数ランキング    第342位 112件 下降2012年:第317位 115件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5255057 高度に収束された光を収集する配置の方法および装置 2013年 8月 7日
特許 5258873 電極組立体から表面の金属汚染を洗浄する方法 2013年 8月 7日
特許 5248526 ギャップコントロール機能を有するべベルエッチャー 2013年 7月31日
特許 5248525 構成自在ベベルエッチャ 2013年 7月31日
特許 5248524 真空チャックを備えるベベルエッチャ 2013年 7月31日
特許 5250418 ラインエッジ粗さを低減させた特徴のエッチング 2013年 7月31日
特許 5247440 エッチングマスクスタックを用いたマルチマスクプロセス 2013年 7月24日
特許 5244123 プラズマ封じ込みのための電界低減装置 2013年 7月24日
特許 5238254 エッジホイール構造 2013年 7月17日
特許 5241052 プラズマ処理装置 2013年 7月17日
特許 5238717 三次元集積回路を製造するための方法、装置、および、システム 2013年 7月17日
特許 5238114 電極アッセンブリ 2013年 7月17日
特許 5238261 電気メッキ処理のためのウエハ支持装置およびその利用方法 2013年 7月17日
特許 5232146 自動化試験および特性決定データ分析の方法および構成 2013年 7月10日
特許 5225378 熱的に分離されたチップを有する温度プローブ 2013年 7月 3日

112 件中 46-60 件を表示

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5255057 5258873 5248526 5248525 5248524 5250418 5247440 5244123 5238254 5241052 5238717 5238114 5238261 5232146 5225378

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