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ラムリサーチコーポレーション

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ラムリサーチコーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5183213	真空プラズマプロセッサ	2013年 4月17日
特許 5184644	湿式エッジ洗浄を強化するためのベベルプラズマ処理	2013年 4月17日
特許 5183850	有機ケイ酸塩誘電体の層を有する半導体ウエハからフォトレジストを剥離する方法	2013年 4月17日
特許 5179627	プラズマ処理チャンバ用の可動接地リング	2013年 4月10日
特許 5178983	有機ケイ酸塩ガラスにデュアルダマシン構造をエッチングするための方法	2013年 4月10日
特許 5175295	一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成およびその方法	2013年 4月 3日
特許 5175302	ウエハ端部の処理方法及び処理装置	2013年 4月 3日
特許 5172355	プラズマ処理ツールにおける情報管理プロセス	2013年 3月27日
特許 5164978	プラズマ処理を監視する方法	2013年 3月21日
特許 5164990	基板処理メニスカスによって残される入口マークおよび／または出口マークを低減させるためのキャリア	2013年 3月21日
特許 5165306	多孔質低ｋ誘電体層内に特徴を形成するための装置	2013年 3月21日
特許 5165560	エッチング層に形状を形成するための方法	2013年 3月21日
特許 5165821	誘導結合型プラズマ発生システム用の複数コイル・アンテナ	2013年 3月21日
特許 5166591	プラズマエッチング反応器の構成部品、プラズマエッチング反応器及び半導体基板を処理する方法	2013年 3月21日
特許 5165817	静電チャック及びその製造方法	2013年 3月21日

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5183213 5184644 5183850 5179627 5178983 5175295 5175302 5172355 5164978 5164990 5165306 5165560 5165821 5166591 5165817

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