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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第430位 93件 (2012年:第409位 98件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5164978 | プラズマ処理を監視する方法 | 2013年 3月21日 | |
特許 5161461 | プラズマ処理システムにおける選択性の制御方法 | 2013年 3月13日 | |
特許 5156025 | 電極寿命の延長のためのガス流れの修正を伴うシャワーヘッド電極組立体 | 2013年 3月 6日 | |
特許 5154441 | 二相の基板洗浄化合物、洗浄化合物を使用するための方法および装置 | 2013年 2月27日 | |
特許 5153143 | 銅表面に対する表面還元、不動態化、腐食防止、および活性化のための方法 | 2013年 2月27日 | |
特許 5148508 | 半導体基板を洗浄するための方法および装置 | 2013年 2月20日 | |
特許 5150022 | メモリセルキャパシタ構造におけるメモリセルキャパシタプレートの形成方法 | 2013年 2月20日 | |
特許 5148043 | プラズマ処理チャンバにおける単周波RF電力を用いたウェハ処理システム、処理装置、および処理方法 | 2013年 2月20日 | |
特許 5144753 | プラズマ処理システムのESC高電圧制御 | 2013年 2月13日 | |
特許 5145328 | 半導体基板のエッジの一部を洗浄する装置、洗浄するシステムおよび方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5138700 | 容量結合プラズマプロセスチャンバにおけるガスフローコンダクタンス制御のための装置および方法 | 2013年 2月 6日 | |
特許 5135306 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 | 2013年 2月 6日 | |
特許 5139451 | 低誘電率材料を修復するための装置および方法 | 2013年 2月 6日 | |
特許 5139059 | プラズマ処理システムにおけるエッチング耐性を最適にする方法 | 2013年 2月 6日 | |
特許 5139029 | プラズマ処理装置 | 2013年 2月 6日 |
112 件中 91-105 件を表示
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5164978 5161461 5156025 5154441 5153143 5148508 5150022 5148043 5144753 5145328 5138700 5135306 5139451 5139059 5139029
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10月21日(月) -
日常実務の疑問点に答える著作権 (周辺領域の商標・不正競争防止法を含む)に関するQ&A ~日常業務において、判断に迷う・知らずして間違いを犯しがちなケースを取り上げて、Q&A形式で平易に解説~
10月22日(火) - 東京 港
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