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ラム リサーチ コーポレーション

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  2013年 特許取得件数ランキング    第342位 112件 下降2012年:第317位 115件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5164978 プラズマ処理を監視する方法 2013年 3月21日
特許 5161461 プラズマ処理システムにおける選択性の制御方法 2013年 3月13日
特許 5156025 電極寿命の延長のためのガス流れの修正を伴うシャワーヘッド電極組立体 2013年 3月 6日
特許 5154441 二相の基板洗浄化合物、洗浄化合物を使用するための方法および装置 2013年 2月27日
特許 5153143 銅表面に対する表面還元、不動態化、腐食防止、および活性化のための方法 2013年 2月27日
特許 5148508 半導体基板を洗浄するための方法および装置 2013年 2月20日
特許 5150022 メモリセルキャパシタ構造におけるメモリセルキャパシタプレートの形成方法 2013年 2月20日
特許 5148043 プラズマ処理チャンバにおける単周波RF電力を用いたウェハ処理システム、処理装置、および処理方法 2013年 2月20日
特許 5144753 プラズマ処理システムのESC高電圧制御 2013年 2月13日
特許 5145328 半導体基板のエッジの一部を洗浄する装置、洗浄するシステムおよび方法 2013年 2月13日
特許 5138700 容量結合プラズマプロセスチャンバにおけるガスフローコンダクタンス制御のための装置および方法 2013年 2月 6日
特許 5135306 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 2013年 2月 6日
特許 5139451 低誘電率材料を修復するための装置および方法 2013年 2月 6日
特許 5139059 プラズマ処理システムにおけるエッチング耐性を最適にする方法 2013年 2月 6日
特許 5139029 プラズマ処理装置 2013年 2月 6日

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5164978 5161461 5156025 5154441 5153143 5148508 5150022 5148043 5144753 5145328 5138700 5135306 5139451 5139059 5139029

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