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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第141位 352件
(2012年:第60位 663件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第146位 280件
(2012年:第136位 287件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-84911 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-84898 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-82995 | 半導体装置の製造方法、半導体装置および基板処理装置 | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-84918 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-85188 | 表示システム | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-85059 | 無線通信システム | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-80979 | 半導体装置の製造方法および基板処理装置 | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-80907 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-80771 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-81039 | 映像表示装置 | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-77824 | 基板処理装置、基板処理装置の表示方法及び半導体装置の製造方法。 | 2013年 4月25日 | |
特開 2013-77805 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2013年 4月25日 | |
特開 2013-77803 | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2013年 4月25日 | |
特開 2013-76157 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2013年 4月25日 | |
再表 2011-74604 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び半導体装置 | 2013年 4月25日 |
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2013-84911 2013-84898 2013-82995 2013-84918 2013-85188 2013-85059 2013-80979 2013-80907 2013-80771 2013-81039 2013-77824 2013-77805 2013-77803 2013-76157 2011-74604
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2月25日(火) -
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2月26日(水) -
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2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 港区
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3月4日(火) -
3月4日(火) -
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3月5日(水) -
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3月6日(木) - 東京 港区
3月6日(木) -
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3月7日(金) - 東京 港区
3月7日(金) -
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