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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第141位 352件
(2012年:第60位 663件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第146位 280件
(2012年:第136位 287件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-45862 | 基板処理システム | 2013年 3月 4日 | |
特開 2013-46137 | 受信装置 | 2013年 3月 4日 | |
特開 2013-42061 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2013年 2月28日 | |
特開 2013-42062 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2013年 2月28日 | |
特開 2013-42051 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2013年 2月28日 | |
特開 2013-42421 | 無線通信システム及び無線端末装置 | 2013年 2月28日 | |
特開 2013-42386 | 監視システム | 2013年 2月28日 | |
特開 2013-42324 | 無線通信システム | 2013年 2月28日 | |
特開 2013-36977 | 温度検出装置、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 | 2013年 2月21日 | |
特開 2013-38553 | 無線通信システム及び無線通信システムの移動局 | 2013年 2月21日 | |
特開 2013-34020 | クリーニング方法、半導体デバイスの製造方法および基板処理装置 | 2013年 2月14日 | |
特開 2013-33310 | 基板処理装置 | 2013年 2月14日 | |
特開 2013-33967 | 基板処理装置の異常検出方法、及び基板処理装置 | 2013年 2月14日 | |
特開 2013-33946 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2013年 2月14日 | |
特開 2013-33779 | 基板処理システム | 2013年 2月14日 |
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2013-45862 2013-46137 2013-42061 2013-42062 2013-42051 2013-42421 2013-42386 2013-42324 2013-36977 2013-38553 2013-34020 2013-33310 2013-33967 2013-33946 2013-33779
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2月25日(火) -
3月4日(火) - 東京 港区
3月4日(火) -
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