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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第141位 352件
(2012年:第60位 663件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第146位 280件
(2012年:第136位 287件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-211584 | 基板処理装置及びその表示方法並びに半導体装置の製造方法 | 2013年10月10日 | |
特開 2013-207058 | 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法および記録媒体。 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-207056 | 基板処理装置、及び、半導体装置の製造方法 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-207517 | 操作端末、操作方法およびプログラム | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-207057 | 基板処理装置、基板の製造方法、及び、基板処理装置のクリーニング方法 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-205182 | 画像解析装置、画像解析方法、およびプログラム | 2013年10月 7日 | |
再表 2012-18008 | 基板処理装置、基板処理方法および半導体装置の製造方法 | 2013年10月 3日 | |
特開 2013-201563 | 無線通信装置 | 2013年10月 3日 | |
特開 2013-201300 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2013年10月 3日 | |
特開 2013-201292 | 基板処理装置 | 2013年10月 3日 | |
特開 2013-200054 | 射撃スケジュール作成装置 | 2013年10月 3日 | |
特開 2013-201288 | 基板処理装置、基板処理方法および半導体装置の製造方法 | 2013年10月 3日 | |
特開 2013-201333 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び基板処理方法 | 2013年10月 3日 | |
特開 2013-201766 | 撮像装置 | 2013年10月 3日 | |
特開 2013-201299 | 基板処理システム | 2013年10月 3日 |
352 件中 46-60 件を表示
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2013-211584 2013-207058 2013-207056 2013-207517 2013-207057 2013-205182 2012-18008 2013-201563 2013-201300 2013-201292 2013-200054 2013-201288 2013-201333 2013-201766 2013-201299
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