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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第168位 274件
(2013年:第141位 352件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第174位 253件
(2013年:第146位 280件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-131069 | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及び半導体装置の製造方法 | 2014年 7月10日 | |
特開 2014-130895 | 基板処理装置及び基板搬送方法及び半導体装置の製造方法 | 2014年 7月10日 | |
特開 2014-127524 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2014年 7月 7日 | |
特開 2014-127702 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、気化システム、プログラムおよび記録媒体 | 2014年 7月 7日 | |
再表 2012-115170 | 基板処理装置、基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 | 2014年 7月 7日 | |
特開 2014-126257 | 射撃訓練システム | 2014年 7月 7日 | |
特開 2014-127785 | 送信機 | 2014年 7月 7日 | |
特開 2014-127960 | 無線通信システム | 2014年 7月 7日 | |
特開 2014-123766 | 多段積電子装置用冷却装置 | 2014年 7月 3日 | |
特開 2014-120855 | 無線装置 | 2014年 6月30日 | |
再表 2012-99064 | 基板処理装置、基板支持具及び半導体装置の製造方法 | 2014年 6月30日 | |
特開 2014-116341 | 基板処理システム及び基板処理装置の縮退運用方法 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116626 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法および基板処理装置 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116453 | データ取得方法及び基板処理装置の管理装置 | 2014年 6月26日 | |
特開 2014-116630 | 半導体装置の製造方法およびクリーニング方法 | 2014年 6月26日 | 共同出願 |
274 件中 121-135 件を表示
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2014-131069 2014-130895 2014-127524 2014-127702 2012-115170 2014-126257 2014-127785 2014-127960 2014-123766 2014-120855 2012-99064 2014-116341 2014-116626 2014-116453 2014-116630
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3月5日(水) -
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3月7日(金) - 東京 港区
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